球形硅微粉，又称球形石英粉，是指以二氧化硅为主要成分的无定形石英粉材料。广泛应用于大型集成电路包装、环氧塑料包装、航空航天、精细化工、日常化妆品等高科技领域。

　　▼球形硅微粉制备方法

　　球形硅粉的制备方法包括物理和化学方法。物理方法主要包括火焰球法、高温熔融喷射法、自扩散低温燃烧法、等离子体法和高温煅烧球形化法;化学方法主要包括气相法、水热合成法、溶胶凝胶法、沉淀法、微乳液法等。

　　▼火焰成球法

　　火焰成球法的工艺流程是：首先粉碎、筛选、净化高纯石英砂，然后将石英粉送入气氧产生的高温场，在高温下熔化，冷却成球，形成高纯球硅粉。

　　▼高温熔融喷射法

　　高温熔融喷射法是将高纯度石英放在2100-2500之间℃下部熔融为石英液。喷雾冷却后获得的球形硅粉表面光滑，球形率和非晶形率可达100%。高温熔融喷射法容易保证球化率和无定形率，但该技术的难点在于高温材料、粘性石英熔融液的雾化系统，以及防止污染和进一步净化的问题。

　　▼气相法

　　气相法是以硅卤素为原料，在高温条件下水解制备超细球形二氧化硅微粉。水解后的二氧化硅分子相互凝结形成球形颗粒，相互碰撞融合形成聚集体，形成球形粉末。

　　▼化学沉淀法

　　沉淀法以水玻璃和酸化剂为原料，及时添加表面活性剂，控制沉淀溶液中的反应温度pH值为8时加入稳定剂，洗涤、干燥、煅烧后形成硅粉。其反应原理如5~型6。由沉淀法产生的SiO2粒径均匀，成本低，工艺容易控制，有利于工业化生产，但存在一定的团圆现象。